Мониторинг AMC молекулярных загрязнителей воздуха

Совершенно.Мониторинг AMC молекулярных загрязнителей воздуха

Мониторинг молекулярного загрязнения воздуха (AMC) в режиме реального времени имеет решающее значение для процессов производства полупроводников.

Мониторинг AMC молекулярных загрязнителей воздухаБыстрый мониторинг, оповещение, измерение очень низких концентраций, широкая область измерения, высокочувствительная реакция нескольких газов являются одними из требований полупроводниковой промышленности. Глубокоультрафиолетовая фотолитография уделяет особое внимание измерению концентраций аммиака, амина, N - метилперидона NMP, кислот и т. Д., Когда эти газы вступают в реакцию с химически усиленным фоторезистом, это оказывает глубокое влияние на качество полупроводниковых приборов.

Традиционные древние методы в основном используют косвенные измерения и анализ. Включая ударные фильтры, ионную хроматографию, химическую флуоресценцию, которые слишком медленны для анализа, слишком сложны в процессе работы, дороги и неточные результаты измерений.

CEAS (спектр усиленного поглощения полости) - принцип

Принципиальная схема прибора, основанная на технологии CEAS (спектр поглощения, усиленный полостью полости), использует свет ближнего инфракрасного диапазона для измерения поглощения высокой чувствительности, измерительная камера состоит из цилиндрических тел, состоящих из набора многократно отражательных линз с высоким коэффициентом отражения, а лазерный луч получает относительную длину волны лазера при прохождении через твердотельный калибратор (FSR = 2,00 ГГц). Для обеспечения четкости был проигнорирован луч света, который первоначально был облучен за пределами полости измерительного блока слева.

Улучшенная версия EP включает в себя датчик давления и внутренний температурный контроллер с камерой для измерения сверхстабильности, чтобы предотвратить ошибки, вызванные дрейфом температуры, изменением давления и т. Д.

CEAS (спектр поглощения, усиленный полостью) имеет много доказанных преимуществ по сравнению с технологией CRDS первого поколения (спектр затухания полости). Короче говоря, лазерный луч не нуждается в резонансной связи для входа в измерительную камеру (например, луч не требует строгого выравнивания). Аналитические приборы и системы DUKE имеют естественные характеристики простоты установки, механической прочности и прочной защиты.