Онлайновый детектор концентрации гидрофтористой кислоты с высокой точностью SEMIG5

Описание продукта

В высокотехнологичных областях, таких как полупроводники и микроэлектроника, водород - фтористая кислота (HF) электронного класса выполняет функции очистки и травления.

С точки зрения обеспечения качества продукции, контроль концентрации является основой для обеспечения эффекта очистки и травления, избегая чрезмерного или недостаточного, тем самым обеспечивая качество и производительность поверхности продукта.

Что касается стабильных производственных процессов, то колебания концентрации HF могут привести к нестабильности процесса, влияя на эффективность производства и качество продукции. Стабильный контроль концентрации является ключом к достижению эффективного производства.

С точки зрения снижения производственных затрат, путем контроля использования HF, сокращения отходов, снижения затрат на обработку отходов, достижения экономической эффективности.

С точки зрения повышения безопасности, освоение концентрации HF помогает оценить потенциальные риски безопасности и принять соответствующие защитные меры для обеспечения безопасности операторов.

Выполнение экологических требований, контроль использования HF, сокращение выбросов, помогает предприятиям соответствовать все более строгим экологическим правилам.

Электронная гидрофторуглеродная кислота имеет широкий спектр применений, охватывающих производство полупроводников, для ключевых процессов, таких как очистка кремниевых пластин, травление оксидного слоя, удаление металлических примесей; Микроэлектроника, используемая в производстве интегральных схем, производстве жидкокристаллических дисплеев, производстве солнечных батарей и других звеньях; А также лабораторные исследования, которые играют роль в химическом анализе, исследованиях материалов и так далее.

Однако традиционный метод обнаружения концентрации гидрофторуглеродов часто опирается на анализ проб, взятых вручную, и этот метод имеет много недостатков: трудоемкий и трудоемкий, требует ручного отбора проб, отправки и ожидания результатов анализа, что приводит к неэффективности; запаздывание, результаты анализа не могут отражать изменения концентрации HF в реальном времени, не могут своевременно корректировать процесс; Ошибка большая, ручная операция легко вводит ошибку, влияет на точность обнаружения; Что еще более важно, существует проблема безопасности, и непосредственный контакт с высококоррозионными HF сопряжен с более высоким риском безопасности. Поэтому необходимо найти более эффективный и безопасный метод определения концентрации гидрофторуглеродов.

Онлайновый детектор концентрации гидрофтористой кислотыПродукция имеетВысокоточный, класс SEMIG5, высокотемпературный, долгоживущий источник света, термостатЭквивалентность, диапазон измерений 0 - 55%. Датчик использует сверхчистую структуру циркуляционного пула PTFE / PFA в сочетании с большой площадью оптической призмы сапфира, благодаря долгосрочному накоплению технологий и исследованиям и разработкам, чтобы решить проблему « застрявшей шеи» для продуктов онлайн - измерения и контроля концентрации влажной электроники в полупроводниковой промышленности.

Преимущества продукта

1. Без предварительной обработки образцов, без расходных материалов реагента, весь процесс измерения в секундах порядка.

2. Сверхдолговечный источник света до 100 000 часов снижает затраты на использование и обслуживание.

3. Часть материала не зависит от цвета и мутности.

4. Часть материала не подвержена воздействию пузырьков и частиц.

5. Некоторые материалы не подвержены изменениям давления объекта обнаружения, изменениям потока, турбулентности.

6. Инструменты не имеют механических движений во время обнаружения, обеспечивая долгосрочную стабильность использования.

7. Проверьте полноплоскую структуру призмы, чтобы избежать грязи в оптических окнах.

8. Заводская калибровка и автоматическая температурная компенсация, прямой ввод в эксплуатацию.

9. Поддерживается связь с верхней машиной, выход сигнала 4 - 20mA & RS485.

10. Поддержка сигналов сигнализации и управления переключателями.

11. Поддержка функции моделирования данных, может настраивать модели данных.

технические параметры