Добро пожаловать Клиент!

Членство

А

Помощь

А
Пекинская компания науки и техники Чжункэ Фухуа
ЮйЗаказчик производитель

Основные продукты:

Хбжан> >Продукты

лазерная литография с прямой записью DMD

ДоговариваемыйОбновление на02/01
Модель
Природа производителя
Производители
Категория продукта
Место происхождения
Обзор
Миниатюризация рабочего стола $r $n $r $n $n Фотолитография без маски - это фотолитография, которая не требует использования традиционной версии физической маски для передачи схемы, а сканирует экспозицию непосредственно на светочувствительном материале с помощью высокоточного луча, управляемого компьютером, чтобы сформировать необходимую микросхему. В настоящее время в микроэлектронике, микронанообработке, MEMS、LED、 Биологические чипы широко используются в различных областях.
Подробности о продукте

ZML10A - это инновационное фотолитографическое устройство рабочего стола без маски, предназначенное для эффективной и точной микронанообработки. Устройство использует высокомощный, высокооднородный светодиодный источник света и в сочетании с технологией DLP для достижения функции экспозиции наведения желтого или зеленого света, по - настоящему « то, что вы видите, получает», что значительно повышает удобство работы и управляемость процесса. Его структура оптического пути и высокоточная линейная станция смещения двигателя обеспечивают точность экспозиции и возможность повторного позиционирования, а также оснащены системой автофокусировки CCD - камеры по полю, что еще больше оптимизирует качество изображения и стабильность процесса. Устройства поддерживают электрическое переключение объективов и лазерную активную фокусировку и могут гибко реагировать на потребности различных сценариев применения. Его компактная миниатюрная конструкция рабочего стола не только экономит пространство, но и облегчает развертывание в лаборатории или производственной среде. Кроме того, ZML10A оснащен интуитивно понятным и простым в использовании программным интерфейсом, который значительно снижает порог работы и позволяет даже новичкам быстро начать работу. Будь то подготовка сложных микронаноструктур, таких как метаматериалы, электродные узоры или микропроцессоры, ZML10A обеспечивает надежную поддержку и является идеальным выбором для исследователей и промышленных пользователей.


технические характеристики

Миниатюризация рабочего стола.

Высокомощный и однородный светодиодный источник

* Жёлтый / зеленый свет направляет экспозицию, то, что вы видите, то, что вы получаете

Камера CCD автоматически фокусирует изображения

Высокоточные линейные двигатели.

Простой в эксплуатации программный интерфейс.


Световой путь вдали от структуры

DMD激光直写光刻机




Основные показатели


Ключевые технические показатели
Центральная длина волны ультрафиолетового источника света 405нм
Равномерность экспозиции 90%
Минимальная ширина линии 0,5 мкм
площадь экспозиции однократного поля записи 0,6 * 0,4 мм (@0.5um)
Скорость записи 3мм^2/мин (@0.5um)
конфигурация Базовое издание Профессиональное издание
источник света Свет LED: 405nm
Чип DMD ДЛП6500
Площадь экспозиции одного поля 0,6 * 0,4 мм (@0.5um), 1,2 * 0,8 мм (@0.8um)
2.4 * 1.6мм (@1.5um), 12 * 8мм (@8um)
камера Микроскопическая камера с большой мишенью (поддерживает измерение размеров)
Точность резьбы 1ум 0,7 мкм
Скорость записи 3мм²/мин (@0.5um) 20 мм²/мин (@0.5um)
Спортивная площадка Высокоточный линейный двигатель (точность повторного позиционирования ± 0.5um) механизм выравнивания, ручной вращающийся стол Высокоточный линейный двигатель (точность повторного позиционирования ± 0.5um) механизм выравнивания, электрический вращающийся стол
Объективный преобразователь Ручное переключение объективов Электрический объектив
группа фокусных модулей Автофокус изображений CCD Активная фокусировка лазера
Поддерживает размер кремния. 4 дюйма 8 дюймов


Примеры применения

DMD激光直写光刻机

DMD激光直写光刻机




DMD激光直写光刻机