-
Электронная почта
zhixuling789@126.com
-
Телефон
18810401088
-
Адрес
Фэнтай, Пекин
Пекинская компания науки и техники Чжункэ Фухуа
zhixuling789@126.com
18810401088
Фэнтай, Пекин
ZML10A - это инновационное фотолитографическое устройство рабочего стола без маски, предназначенное для эффективной и точной микронанообработки. Устройство использует высокомощный, высокооднородный светодиодный источник света и в сочетании с технологией DLP для достижения функции экспозиции наведения желтого или зеленого света, по - настоящему « то, что вы видите, получает», что значительно повышает удобство работы и управляемость процесса. Его структура оптического пути и высокоточная линейная станция смещения двигателя обеспечивают точность экспозиции и возможность повторного позиционирования, а также оснащены системой автофокусировки CCD - камеры по полю, что еще больше оптимизирует качество изображения и стабильность процесса. Устройства поддерживают электрическое переключение объективов и лазерную активную фокусировку и могут гибко реагировать на потребности различных сценариев применения. Его компактная миниатюрная конструкция рабочего стола не только экономит пространство, но и облегчает развертывание в лаборатории или производственной среде. Кроме того, ZML10A оснащен интуитивно понятным и простым в использовании программным интерфейсом, который значительно снижает порог работы и позволяет даже новичкам быстро начать работу. Будь то подготовка сложных микронаноструктур, таких как метаматериалы, электродные узоры или микропроцессоры, ZML10A обеспечивает надежную поддержку и является идеальным выбором для исследователей и промышленных пользователей.
Миниатюризация рабочего стола.
Высокомощный и однородный светодиодный источник
* Жёлтый / зеленый свет направляет экспозицию, то, что вы видите, то, что вы получаете
Камера CCD автоматически фокусирует изображения
Высокоточные линейные двигатели.
Простой в эксплуатации программный интерфейс.
• Световой путь вдали от структуры

| Ключевые технические показатели | ||
| Центральная длина волны ультрафиолетового источника света | 405нм | |
| Равномерность экспозиции | 90% | |
| Минимальная ширина линии | 0,5 мкм | |
| площадь экспозиции однократного поля записи | 0,6 * 0,4 мм (@0.5um) | |
| Скорость записи | 3мм^2/мин (@0.5um) | |
| конфигурация | Базовое издание | Профессиональное издание |
| источник света | Свет LED: 405nm | |
| Чип DMD | ДЛП6500 | |
| Площадь экспозиции одного поля | 0,6 * 0,4 мм (@0.5um), 1,2 * 0,8 мм (@0.8um) 2.4 * 1.6мм (@1.5um), 12 * 8мм (@8um) |
|
| камера | Микроскопическая камера с большой мишенью (поддерживает измерение размеров) | |
| Точность резьбы | 1ум | 0,7 мкм |
| Скорость записи | 3мм²/мин (@0.5um) | 20 мм²/мин (@0.5um) |
| Спортивная площадка | Высокоточный линейный двигатель (точность повторного позиционирования ± 0.5um) механизм выравнивания, ручной вращающийся стол | Высокоточный линейный двигатель (точность повторного позиционирования ± 0.5um) механизм выравнивания, электрический вращающийся стол |
| Объективный преобразователь | Ручное переключение объективов | Электрический объектив |
| группа фокусных модулей | Автофокус изображений CCD | Активная фокусировка лазера |
| Поддерживает размер кремния. | 4 дюйма | 8 дюймов |
Примеры применения


