Немецкая плазменная машина Sentech Rie

ДоговариваемыйОбновление на02/01

Модель

Природа производителя: Производители

Категория продукта

Место происхождения

Онлайн Консультация

Обзор

SENTECH Instruments (Германия) Ltd. является ведущим международным производителем полупроводникового оборудования, разработки, производства и продажи тонкопленочных измерительных приборов PECVD и плазменного технологического оборудования.

Подробности о продукте

Эффективность с точки зрения затратИ Гао

Плазменный травильный аппарат RIE Etchlab 200 спроектирован в сочетании с плазменным источником с параллельной пластиной.

Расширяемость

В соответствии с модульной конструкцией, плазменный травильный аппарат Etchlab 200 может быть обновлен до более крупных вакуумных насосов, предварительно вакуумных камер и большего количества газовых каналов.

Программное обеспечение управления SENTECH

Эта плазменная гравировальная машина оснащена удобным для пользователя мощным программным обеспечением с аналоговым графическим пользовательским интерфейсом, параметрическими окнами, процессамиРедактирование окон, записи данных и управление пользователями.

Этхлаб 200RIE Плазменная гравировальная машинаОн представляет собой семейство плазменных резаторов с прямыми пластинами, которые сочетают в себе преимущества проектирования электродов с параллельными пластинами RIE и рентабельного проектирования с прямыми пластинами. Отличительной особенностью Etchlab 200 является простая и быстрая загрузка образцов, от деталей до чипов диаметром 200 или 300 мм непосредственно на электроды или носители. Гибкость, модульность и небольшой размер территории являются особенностями дизайна Etchlab 200. Диагностические окна, расположенные на верхних электродах и реакционных полостях, могут легко разместить лазерные интерферометры SENTECH или системы OES и RGA. Порт эллипсоида может использоваться для мониторинга исходного эллипсоида SENTECH.

Плазменный травильный аппарат Etchlab 200 может быть сконфигурирован для нанесения прямого нагружения материалов, включая, но не ограничиваясь этим, кремниевые и кремниевые соединения, соединения полупроводников, диэлектриков и металлов.

Этхлаб 200Управление программными операциями через SENTECH с использованием технологии удаленной полевой шины и удобного для пользователя универсального пользовательского интерфейса.

Etchlab 200:

RIE Плазменный травильный аппарат
Проектирование открытых крышек
Микросхема для 200 мм
Диагностические окна для лазерных интерферометров и OES
Выбор интерфейса эллипсоида

Etchlab 200 с предварительной вакуумной камерой:

Стилятор RIE с предварительно вакуумной камерой
Подходит для чипов размером от 4 до 8 дюймов.
Устройство для переноса мелких фрагментов или фрагментов
газ с травлением на основе хлора
Большие вакуумные насосы.

Etchlab 200-300:

RIE Плазменный травильный аппарат
Проектирование открытых крышек
Микросхемы для 300мм
Диагностические окна для лазерных интерферометров и OES

Похожий продукт рекомендовать