Очистительная комната Электронного завода

Очистительная комната Электронного заводаВыберите систему принятия решений и ключевые моменты реализации программы строительства чистой комнаты в сочетании с нормами прецизионной электронной промышленности и типичным тематическим анализом:

I. СОДЕРЖАНИЕОчистительная комната Электронного заводаОпределить основные технологические параметры

АСоответствие уровней чистотыА

Определяется по технологическим потребностям производстваИСОКласс: если для фотолитографии на полупроводнике требуется тысяча (ИСО 5),SMTСкачать (ИСО 6Обычная электронная сборка может быть ослаблена до 100 000 уровней (ИСО 7В)).

Контроль концентрации твердых частиц с помощью частоты воздухообмена, например, в тысячной чистой камере300раз/Часы, высокоэффективный фильтр должен покрывать ≥80%Площадь потолка.

АПоказатели экологического контроляА

Температура и влажность: температура в полупроводниковой мастерской22±2°C, влажность45±5%А,ПХБМастерская может быть ослаблена24±1°C, влажность50±10%А.

Градиент перепада давления: перепад давления в чистой и нечистой зонах5ПаМежду различными уровнями ≥3ПаА.

II. Ключевые варианты проектирования систем

АСистема очистки воздухаА

Использование трехуровневой фильтрации (начальный эффект)Г4+ЭффектF8+эффективныйН13Комбинация, полупроводниковый цех должен добавить химические фильтры для обработки кислотных газов.

Структура потока отдает приоритет вертикальному потоку вверх и вниз,ФФУОхват ≥60%Когда повышается стабильность чистоты30%А.

ААнтистатическая и коррозионная обработкаА

На земле используется антистатический эпоксидный уровень самотекания (значение сопротивления)1Х10 ^ 6 ~ 1Х10 ^ 9Один раз) илиПВХСвитки, стены из антистатической цветной стали (поверхностное сопротивление1Х10 ^ 9Ω)А.

Выбросы кислотно - щелочных газов316ЛНержавеющая сталь, скорость течи сварного гелия1Х10^-9 Па·м³в/сА.

III.Очистительная комната Электронного заводаОптимизация материалов и процессов строительства

АкатегорияАПредпочтительный вариантАтехнические показателиА

ограждающая конструкция50 ммПротивопожарная листовая листовая сталь Противопожарная защита1Класс, звукоизоляция ≥30 дБ

Окно Двойное полый стекло+Аэрогерметичная лента Коэффициент утечки воздуха0,1 м³/(ч)·м²)

Трубопровод Вентилятор из оцинкованной стали+ ПЭФогнестойкая изоляция Коэффициент утечки воздуха в вентиляционной трубе1%

Наземные работы эпоксидная стратификация выравнивание2мм/2м

IV.Очистительная комната Электронного заводаЭлементы управления процессом строительства

АМодульный процесс строительстваА

часть32Синхронное строительство блоков, погрешность установки цветной стали ± ±3 ммКольцевой шов потолочной пластины2 ммА.

После завершения предварительно захороненного трубопровода проводится очистка и ремонт, чтобы уменьшить риск перекрестного загрязнения.

АМеры чистого контроляА

Установите зону предварительной очистки, цветную стальную пластину перед входом протирают изопропиловым спиртом, строители носят сиамский пылезащитный костюм.

Динамический мониторинг количества взвешенных частиц, концентрация которых во время строительства не превышает расчетных значений30%А.

V. Стратегия сбалансированности затрат и энергоэффективности

АОптимизация выбора оборудованияА

Система кондиционирования воздуха использует преобразователь частоты+Оборудование для рекуперации тепла, комплексное соотношение энергоэффективности (ЕЭР) Повышение до4.3Энергосбережение22%А.

Выбор системы освещениясветодиодныеПлотность мощности, плоская лампа8 Вт/А, срок службы ≥5Миллионы часов.