-
Электронная почта
123@qq.com
-
Телефон
13112345679
- Адрес
Шэнмэй полупроводниковое оборудование
123@qq.com
13112345679
Горизонтальная гальваническая полость без перекрестного загрязнения
Однополостное обслуживание, улучшение нормального времени работы устройства (up time)
Технология резинового уплотнения, лучшая герметичность
Технология второго анода для лучшего контроля однородности
Гибкий контроль процессов
兼容8寸和12寸
Максимально 3 Load Port
Может быть до 4 предварительно мокрых полостей, вакуумный контроль
Максимально может быть 4 полости очистки.
До 20 гальванических полостей: Cu, Sn / Ag, Ni
Размер устройства: 2050 x 5950 x 2650 мм
Технологические характеристики:
Внутриполитическая однородность: < 5% (- минимальная / 2 средняя)
Совокупность между фильмами < 3%
Повторяемость: < 3%
СОП: < 2,0 мкм
