Основные преимущества

Настройка конструкции полости с независимыми правами интеллектуальной собственности и однополостной компоновки с несколькими нагревательными дисками

Специальные газораспределительные устройства и конструкции патронов.

Преобразование для слоя пленки может обеспечить лучшую однородность пленки, лучшее напряжение пленки и меньшие свойства частиц

Учитывая высокую производительность, в каждой камере установлено несколько нагревательных дисков.

Гибкое распределение количества полостей с учетом различных требований к производительности

Самостоятельно разработанное программное обеспечение для управления может быть гибко настроено для удовлетворения соответствующих потребностей

Дизайн вакуумных механических рук для согласования полостей с несколькими нагревательными дисками

Технологическая температура совместима с различными требованиями к осадочной пленке PECVD от 200C до 650C

Характеристики и спецификации

Подходит для различных потребностей в осаждении тонкой пленки с кристаллической окружностью 300 мм

Устройство имеет однополостную модульную конструкцию и имеет две конфигурации:
Один из них состоит в том, чтобы иметь модули от одной до трех полостей, подходящие для тонких осадочных пленок, чтобы сбалансировать производительность
Один из них - это модуль с четырьмя - пятью полостями, подходящий для более толстой пленки, совместимой с длинными рукавами вакуумной механической руки