Газовый фильтр Entegris

ДоговариваемыйОбновление на03/31

Модель

Природа производителя: Производители

Категория продукта

Место происхождения

Онлайн Консультация

Обзор

WGFG01DSH - это точечный фильтр Of - use (конечная точка использования), предназначенный для систем транспортировки газов высокой чистоты. Он в основном используется для защиты критически важного технологического оборудования вниз по течению, удаления твердых загрязнителей из газов и обеспечения того, чтобы технологические газы соответствовали строгим требованиям к чистоте.

Подробности о продукте

Газовый фильтр Entegris WGFG01DSH

1. Обзор продукции
WGFG01DSH - это точечный фильтр Of - use (конечная точка использования), предназначенный для систем транспортировки газов высокой чистоты. Он в основном используется для защиты критически важного технологического оборудования вниз по течению, удаления твердых загрязнителей из газов и обеспечения того, чтобы технологические газы соответствовали строгим требованиям к чистоте.

2. Основные параметры и спецификации

проект	Параметры / спецификации
модель продукта	WGFG01DSH
Класс фильтра	Фильтр спекания металла обычно настроен на 0003 микрон (3 нм) или выше в зависимости от суффикса заказанной модели.
Фильтр	Нержавеющая сталь спекается из металлического волокна войлок (например, технология войлока Bekaert от Entegris).
Материал оболочки	316L нержавеющая сталь (низкое железо, низкая сера).
способ подключения	VCR ® Или VCO ® Поверхностные уплотнения, размер которых обычно составляет 1 / 4 дюйма или 1 / 2 дюйма (должны быть подтверждены в соответствии с конкретным заказом).
герметизирующий материал	Обычно используется цельнометаллическое уплотнение (без полимеров) или фтористый каучук, который может быть выбран в соответствии с требованиями полупроводникового процесса (например, Viton) ®/ FKM - уплотнительное кольцо.
расчетное давление	Конструкция высокого давления, типичные значения, такие как 2000 psig (138 бар) или выше, см. в таблице данных продукта.
расчетная температура	Может адаптироваться к высокотемпературной среде выпечки, типичный рабочий температурный диапазон может достигать более 150 °C.
Обработка поверхностей	Внутренняя оболочка подвергается электролитической полировке (EP) для снижения адсорбции частиц и скорости выхлопа.
Коэффициент удаления частиц	Для частиц целевого диаметра частиц (например, ≥ 0003 мкм) эффективность удаления обычно ≥ 999999%.
заводские испытания	Каждый фильтр проходит строгие заводские испытания на целостность (например, тест на пузырьки) и тест на гранулу Challenge, а также предоставляет отчет о сертификации (CoC).
область применения	Полупроводниковое производство, панели отображения, фотоэлектрические, волоконно - оптические сборные стержни и другие технологические звенья, требующие газа сверхвысокой чистоты, часто используемые в фотолитографии, травлении, CVD、 Линия подачи газа для таких устройств, как ионная инжекция.

3. Основные функциональные характеристики
Высокая эффективность улавливания:: Способность перехвата субмикронных и нанометровых частиц с использованием механизма глубокой загрузки.
Низкое выделение и низкое высвобождение:: цельнометаллическая структура и электролитическая полировка, эффективный контроль выделения ионов металла и снижение адсорбции влаги и газа.
Высокая структурная целостность:: Прочные металлические фильтры и оболочки, устойчивые к колебаниям давления, ударам и высокой температуре системы.
Широкая совместимость:: Применяется для различных высокочистых, коррозионных и инертных технологических газов, таких как Nneneneed, H2B, O2B, Ar, He, SiH, HCl, Clneneneed, WF ₆ и так далее.

4. Важные заявления

Конкретные технические параметры (например, размер соединения, точный уровень фильтрации, номинальное значение давления) должны бытьОкончательные спецификации продукта (Datasheet) и отчеты о сертификации, опубликованные EntegrisВ зависимости от того.

Похожий продукт рекомендовать