Монокристаллическая промывочная установка

ДоговариваемыйОбновление на02/15

Модель

Природа производителя: Производители

Категория продукта

Место происхождения

Онлайн Консультация

Обзор

Серия очистки монокристаллического круга Ultra C Shengmei может широко использоваться в различных процессах передней части (FEOL) и задней части (BEOL) в передовом производстве интегральных схем, может быть оснащена различными химическими растворами и вспомогательными методами очистки в соответствии с различными приложениями, а также может использоваться в производстве кристаллических кругов, производстве MEMS и производстве силовых устройств.

Подробности о продукте

Монокристаллическая промывочная установка

• Председиментационная очистка

• Очистка после травления

• Очистка после CMP

Стандартная чистка RCA

Очистка после W Loop

После чистки Cu Loop

• Удаление полимеров BEOL

• Глубокая очистка Trench / Via

• Удаление пленки

• После очистки TSV

Очистка перед EPI

Предыдущая промывка ALD

Основные преимущества и характеристики (Ultra C II & Ultra C V & Ultra C VI)

Может быть 8, 12 и 18 полостей, производительность до 225 таблеток в час, 375 таблеток в час и 800 таблеток в час

Обладает способностью к двусторонней очистке, может быть назначено до 5 очищающих жидкостей, таких как: DHF, DSP +, f - DIW, FOM, SC1, SC2, DIO3, ST250, EKC580, NE111, IPA или рецептурный раствор; Интегрированный модуль подачи жидкости

Может быть переработано до 2 препаратов с низким содержанием COO

Альтернативная технология сушки с IPA при комнатной температуре или усиленной IPA при высокой температуре

Альтернативный вариант с азотным распылением DIW двухжидкостной очисткой или азотным распылением SC1 двухжидкостной очисткой, чтобы помочь удалению миллиметровой акустической технологии для плоской поверхности или глубокой пористой структуры мокрой мегазвуковой технологии графической пластины для эффективной очистки без повреждений

Размеры оборудования: Ultra C II 2.35m x 5.53m x 2.85m, Ultra C V 2.35m x 6.7m x 2.85m, Ultra C VI 2.35 Ми × 6,30 м × 2,85 м (ширина × длина × высота)

Похожий продукт рекомендовать