Швейцарская ультрафиолетовая литография с высоким разрешением

PhableR обладает способностью экспонировать циклические структуры с высоким разрешением в недорогих фотолитографических системах. Это похоже на традиционную ультрафиолетовую экспозиционную машину, которая приближает кристаллическую окружность, покрытую фоторезистом, к шаблону маскировки, а затем облучает ее пучком ультрафиолетового глубокого ультрафиолетового света. Благодаря прорывной технологии экспозиции PHABLE от Eulitha, разрешение больше не ограничивается нежелательными дифракционными эффектами. Такие структуры, как субмикронная периодическая линейная решетка и двумерные узоры (например, шестисторонняя и четырехсторонняя экспозиция решетки), имеют высокую однородность и точность.

Фотолитограф PhableR 100 DUV - это базовый ручной станок для научных исследований и разработок. Для нанопериодической структуры, не требующей сложных технологических процессов или опыта, можно создать одномерную, двумерную растровую структуру с большой площадью, однородностью и повторяемостью. Некоторые особенности оборудования и услуг:

1.Простая эксплуатация оборудования

2. Хорошая совместимость с процессами переднего и заднего проходов и вспомогательным оборудованием

А

Широкое применение, включая:

• Академический (R & D)

• XR (AR / VR / MR)

• Фотоэлектроника

• Оптический элемент

• Биология / медицина

• Цвет / визуальные эффекты

• Служба фотолитографии