Оборудование для осаждения в газовой фазе сцепления

I. Что такое газофазное осаждение сцепления?

Традиционным методом обработки сцепления (например, погружение, распыление) является погружение материала в водный или спиртовой раствор сцепления. В то время как осаждение в газовой фазе происходит в вакууме или в определенной атмосфере, жидкий связывающий агент испаряется, так что он контактирует с поверхностью материала в форме газообразной молекулы и вступает в химическую реакцию, образуя однородный, плотный, сверхтонкий слой мономолекулярной или полимолекулярной пленки.

II.Оборудование для осаждения в газовой фазе сцепленияОсновной состав оборудования

Полный комплект оборудования для осаждения в газовой фазе сцепления обычно состоит из следующих основных компонентов:

1. Осадочные полости

· Функциональность: размещение основной области обрабатываемых деталей (основного материала).

· Требования: обычно требуется коррозионная стойкость, высокая герметичность и функция нагрева (нагревательная основа или сама полость для облегчения реакции).

2. Вакуумные системы

• Функциональность: вакуум полости перед осаждением, удаление воздуха и водяного пара, создание чистой, контролируемой реакционной среды. Это имеет решающее значение для предотвращения преждевременного гидролиза сцепления и обеспечения качества мембраны.

Состав: обычно включает в себя механические насосы, иногда молекулярные насосы настраиваются по мере необходимости, чтобы получить более высокий вакуум.

3. Система перекачки сцепления

• Функциональность: это технический ключ к устройству.

4. Системы нагрева и контроля температуры

· Функции:

• нагревательная основа: температура поверхности фундамента является ключевым фактором гидролиза и конденсации сцепления.

• Тепловые газопроводы: предотвращающие конденсацию испаряющихся соединений во время транспортировки.

· Требования: высокая точность контроля температуры, хорошая однородность температуры в полости.

5. Системы контроля

• Функциональность: интеграция PLC или компьютера для точного управления всем технологическим процессом, включая:

· 真空度

· Температура по регионам (карбюраторы, трубопроводы, полости, основной материал)

• Объем подачи связующего вещества

• Время осаждения

· Преимущества: Автоматизация процесса, воспроизводимость и регистрация всех параметров, обеспечение стабильности качества продукции.

III.Оборудование для осаждения в газовой фазе сцепленияобласть применения

Это оборудование в основном используется в областях, требующих высокой обработки поверхности:

Микроэлектроны и полупроводники: осаждение изоляции на кристаллической окружности или улучшение сцепления последующего материала.

• Воздушно - космическая деятельность: обработка композитов, таких как углеродное волокно и стекловолокно, повышает гидрофобию, что значительно повышает прочность их интерфейса со смоляной матрицей.

• Оптика: функциональные пленки для увеличения проницаемости, водонепроницаемости и защиты от тумана осаждаются на линзах, оптических элементах.

• Нанопечатание: антиклейкий, деформирующий агент, испаренный для модификации гидрофобных поверхностей фундамента для достижения отличного антивязкого эффекта.

• Медицинские приборы: биосовместимое покрытие осаждается на поверхности имплантата.

Устройство для выпаривания адгезивных / антиадгезивных добавокпреимущество

Преимущества по сравнению с традиционными мокрыми процессами:

Характерный метод осаждения в газовой фазе Традиционный мокрый метод (погружение / распыление)

Диафрагма имеет хорошую однородность, может образовывать мономолекулярный слой, без капель, легко генерировать неравномерную толщину, следы течения

мембранная масса высокая чистота, загрязнение без растворителя, высокая плотность может вводить примеси, такие как растворитель, катализатор и т.д.