Гидрофобная машина для напыления

ДоговариваемыйОбновление на05/16

Модель

Природа производителя: Производители

Категория продукта

Место происхождения

Онлайн Консультация

Обзор

Гидрофобное напыление машина программируемого сцепления вакуумная машина для покрытия вакуумным покрытием может быть равномерно покрыта слоем связующего вещества (HMDS) на силиконовой пластине, поверхности фундамента, путем управления рабочей температурой процесса обработки, временем обработки, временем удержания при обработке и другими параметрами, изменяя угол контакта подложки, уменьшая использование фоторезиста, улучшая адгезию фоторезиста и силикона.

Подробности о продукте

Роль гидрофобной машины для напыления

Сохранение рабочего температурного режима, времени обработки, времени обработкиУправление равными параметрами может быть равномерно покрыто слоем связующего вещества на поверхности кремниевых пластин и пластин (HMDS).Изменить了Подшивка的Угол контакта уменьшает использование фоторезиста и улучшает адгезию фоторезиста с силиконовыми пластинами.

Соблюдение соответствующих национальных стандартов, отраслевых стандартов, местных стандартов и других стандартов, норм

Соответствие критериям:Стандарт системы качества ISO 9001, а также соответствующие национальные стандарты, отраслевые стандарты и спецификации производителей оборудования.

Функции гидрофобной машины для выпаривания

номер	функция	технические параметры
1.	размер	Размер внутренней полости (глубина)* Ширина * Высота):Тридцать.0 х300 х300 (мм)Многоразмерный вариант.，Устройства имеют небольшой интегрированный дизайн и могут быть размещены на рабочем столеА.
2.	материал	Внешний ящик изготовлен из высококачественной холоднокатаной пластины, внутренний ящик Нержавеющая сталь класса 316L，Количество полок2слойА.
3.	диапазон температур	РТ+10-200℃，Волатильность± 0,5А.
4.	Чистота	class 100， Оборудование использует беспыльный материал, пригодный для очистки окружающей среды в фотолитографии класса 100А.
5.	Источник питания и общая мощность	AC 220V±10% / 50Гц，Общая мощностьА.2.5КВтА.
6.	контрольный прибор	человеко-машинный интерфейс，КонтролируемыйДобавление препарата HMDSвремяА.
7.	вакуумный насос	Вакуумные или безмасляные насосы с противомасляными спиральными насосами,真空度：1 Вт，
8.	Защитные устройства	Защита от перегрева, защита от утечки и т.д.А.
9.	Сообщение об утечке HMDS	СУстройство мониторинга в реальном времени HMDS с функцией сигнализацииА.

Система подходит не только для традиционного производства интегральных схем на основе кремния, но и для полупроводников третьего поколения (например, SiC, GaN), инкапсуляция (TSV, Fan - Out), а также огромные передачи Micro - LED и другие новые области,Способность к адгезии также демонстрирует огромный потенциал. Стабильная обработка поверхностей - этоКраеугольный камень индустриализации технологий.Применяется на заводе по производству полупроводниковых кристаллических пластин (Foundry), в отделе технологических исследований и разработок компании по проектированию интегральных схем, на предприятиях - изготовителях MEMS, в производстве абажуров, в производстве устройств на основе соединений полупроводников (например, GaN, SiC), в научно - исследовательских институтах и лабораториях микронанообработки в университетах.Производители инкапсуляции (AP), производители светодиодов, компании по разработке микросхем управления потоком и так далее.

Похожий продукт рекомендовать